Four d'échappement sous vide VDO300
Description de l'équipement:
Le four d'échappement sous vide VDO300 est un nouveau type d'équipement d'échappement sous vide récemment lancé par la technologie de plate-forme de roulement à quartz.
Il est utilisé pour l'échappement et le dégazage des puces semi-conductrices, des cadres, des supports, des puces à souder et d'autres produits.
Présentation des performances techniques
1) Exhaust temperature:
La température d'échappement maximale réelle du four d'échappement sous vide VDO300 est ≤ 300℃.
2) Degré de vide:
Équipé d'une pompe à huile mécanique (pompe à vide à palettes à grande vitesse 40L/M), le Degré de vide maximum est de moins de 30 PA.
3) Zone d'échappement efficace:
Zone d'échappement VDO300: 600 * 220mm/couche * 3 couches, espacement des couches: 100mm.
4) Méthode de chauffage:
Quartz glass platform + infrared heating.
5) Taux de chauffage:
Tableau des roulements à quartz: Taux de chauffage maximum est 40K/min.
6) Fonction de refroidissement:
Refroidissement naturel sous vide.
7) Précision du contrôle de la température:
Le four d'évacuation sous vide VDO300 adopte la technologie de contrôle de la température du camarade Zhongke, et la précision du contrôle de la température est de ± 2℃.
8) La cavité est pourvue d'une fenêtre d'observation pour observer le processus d'échappement des dispositifs à l'intérieur de la cavité.
9) La machine de four d'évacuation sous vide VDO300 est équipée du logiciel système de contrôle:
Diverses courbes de processus d'échappement peuvent être définies librement.
La Courbe de température d'échappement peut définir jusqu'à 40 segments de température pour répondre au contrôle de la température précis dans le processus de chauffage.
Le processus d'échappement peut être défini par lui-même en fonction des besoins et des paramètres de processus illimités.
Le logiciel Système de contrôle de VDO300 réalise les fonctions de réglage, modification, stockage et appel de la courbe de processus d'échappement à utiliser.
La courbe de processus pendant le gaz est enregistrée en temps réel et sauvegardée automatiquement pour assurer la traçabilité du processus d'échappement. Fonction d'analyse intégrée au logiciel, qui peut analyser la courbe de processus et déterminer l'augmentation de température, la température constante, la chute de température et d'autres informations.
II Liste des accessoires:
| No. | Description | configuration | QTY |
| 1 | Four d'échappement sous vide | standard | 1 ensemble |
| 2 | Système de contrôle de la température | standard | 1 group/floor |
| 3 | Système de mesure de la température | standard | 1 ensemble |
| 4 | Système de vide | standard | 1 ensemble |
| 5 | Pompe à huile mécanique | standard | 1 ensemble |
| 6 | Système de refroidissement par eau | standard | 1 ensemble |
| 7 | Refroidisseur industriel | standard | 1 ensemble |
| 8 | Table de support de plaquette de quartz | standard | 1 ensemble |
| 9 | Ordinateur industriel | standard | 1 ensemble |
| 10 | Ordinateur industriel | standard | 1 ensemble |
| 11 | tool | standard | 1 ensemble |
III Paramètre
| Modèle | VDO300 |
| Zone d'échappement | 600mm * 220mm * 3 couches |
| Hauteur d'échappement | 100mm (espacement des couches) |
| Écart de température | jusqu'à 300 ℃ |
| Limiter le vide | ≤ 10Pa (équipé d'une pompe à huile mécanique 40L/M) |
| Taux de chauffage | ≤ 40K/min |
| Interface de données | serial port/USB port |
| Mode de contrôle | Ordinateur industriel + Système de contrôle des logiciels (comrades' independent software) |
| Processus d'échappement | Contrôle de la température + Contrôle de la pression de l'aspirateur in section 40 of exhaust process |
| Mode refroidissement | refroidissement par eau |
| Puissance nominale | 26kW Puissance normale 12kW |
| Source de courant | trois éléments cinq fils380V 25-50a |
| Dimension | 1350 * 1000 * 1830mm |
| Poids | 800kg |
